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Linde AMT Schluechtern GmbH
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Germany

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CVD - Chemical Vapor Deposition = Chemische Ablagerung aus Verdampfung

CVD Schichten werden aus gasförmigen, d.h. leicht verdampfbaren Metallverbindungen abgeschieden (Chemical Vapor Deposition). Die Abscheidung der Schicht kann auch in komplexen Innengeometrien erfolgen, die über andere Beschichtungsverfahren nicht erreichbar sind.

Ein typisches Anwendungsgebiet ist Gasturbinenschaufeln mittels Alitierschichten (=Aluminiumdiffusionsschichten) vor Oxidation und Heißgaskorrosion zu schützen .

Diese wird durch Abscheiden von Aluminium und Eindiffundieren in das Substrat erzeugt. Die so erzeugten Schichtdicken liegen im Bereich von 20µm-150µm wobei ein selektives Beschichten der Bauteile möglich ist.

Hochleistungs-CVD-Anlage

  • zur Innen- und Außenbeschichtung von Turbinenschaufeln (s. Abb.)
  • 2 Retorten / bzw. Retortenplätze für erhöhten Durchsatz
  • Nutzvolumen 600 Liter 
  • Interne Generatoren für hochaktive Prozesse 
  • Separate Zuführung für getrennte Innen- und Außenbeschichtung