Das Plasmaspritzen im Niederdruck ermöglicht gegenüber dem atmosphärischen Plasmaspritzen eine bedeutende Steigerung der Haft-Zugfestigkeit, Dichte und der Reinheit der Schichten. Im Wesentlichen besteht eine Niederdruckplasmaanlage aus folgenden Komponenten:

Plasmaspritzpistole und Steuerschrank (Plasmagase, Fördergas, Pulverzufuhr, Strom, Spannung, Kühlwasser etc.) Gleichstromversorgung, HF-Plasmazündung, Pulverförderer, Vakuumtank mit Bewegungssystem für Werkstück und Plasmapistole, Filtersystemen und Pumpstand.